产品资料
JJF1194-2022闪测影像仪一维二维点阵掩膜板
商品名称:
JJF1194-2022闪测影像仪一维二维点阵掩膜板
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AUBAT-SCY200/SCY300
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参数：可定制
证书：可选计量院
适用规程：
JJF(浙)1194-2022闪测影像测量仪校准规范
计量校准用标准器：
圆形靶标
货号：AUBAT-UG30
参数：圆度0.5μm 精细石英材料
0. 5mm 25mm 圆度≤1/4MMPEPs
投射反射双型 4靶位 通用计量校准
线纹尺
货号：AUBAT-M10
参数：0.5μm型 U≤1/4MPEExy
一维点阵掩膜板
货号：AUBAT-SCY200
参数：U≤1/4MPEExy 中心距:50-100-200 mm
材质：光学玻璃
二维点阵掩膜板
货号：AUBAT-SCY300
参数：300*300mm 圆点直径:3mm
中心距:20mm U≤1/4MPEExy
材质：光学玻璃
JJF(浙)1194-2022闪测影像测量仪校准规范适用于闪测影像测量仪的校准。闪测影像测量仪又称一键式影像测量仪，简称闪测仪，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相机、大视角大景深远心镜头、不可移动工作台或可移动工作台组成，包括广视野与高精度测量模式。闪测影像测量仪可以自动识别出测量范围内的多个相同工件(或同一工件在测量范围内的多个相同特征)，并能一次性地自动完成所有工件测量。
校准方法：
二维探测误差校准
1. 二维探测误差PM
将圆形靶标水平放置于工作台面上，在视场内调整影像清晰。在工作台移动的情况下，对整个圆大致均匀的采取25个点，采用单点测量的方法，不得一次采取测量窗口的所有点。用所有25个测量点的数据拟合*小二乘圆，得到圆心，25个测量点到圆心的距离即为半径Ri，Rmax-Rmin即为探测误差PM。
2. 二维探测误差Ps
选择适当尺寸的圆形靶标(标靶影像直径约为视场范围的10%~30%)，将圆形靶标水平放置于工作台面上，在视场内调整影像清晰。在工作台不作任何移动的情况下，利用视场内不同点对圆形靶标的圆周进行测量。用所有25个测量点的数据拟合*小二乘圆，得到圆心，25个测量点到圆心的距离即为半径Ri，Rmax-Rmin即为探测误差Ps。
尺寸测量误差校准
1. 测量位置
当使用线纹尺作为测量标准时，在工作台面上应选择4个位置进行测量。其中两个位置应是沿测量范围内两条对角线X+Y与X-Y方向，另两个位置应是平行于X轴和Y轴方向。
2. 测量间隔
每个位置测量不少于3个间隔，*小测量间隔不大于该测量位置测量行程的10%，X轴与Y轴方向*大测量间隔不小于该测量位置测量行程的90%，对角线X+Y与X-Y方向*大测量间隔不小于该测量位置测量行程的66%。
3. 测量方法（一维点阵掩膜板）
当使用线纹尺做测量标准时，按要求选择测量位置。在各测量位置上依次对规定的线纹间隔进行测量。三次测得值的平均值与标准器实际值的差值为尺寸测量误差。当使用二维掩膜板做测量标准时，将一维或二维掩膜板放置在工作台面上，依次按规定的间隔对二维图形标记的坐标进行测量，得到各标记点的二维坐标。三次测得值的平均值与标准器上对应点实际值的差值为尺寸测量误差。
测量重复性
在工作台面上选择两条对角线方向中的一个方向，放置测量标准，对选定测量位置的任意一个测量间隔进行测量，重复测量10次，按公式计算重复性。如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的测量重复性。
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