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嵌入式靶标JJF1318-2011影像测量仪校准规范
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嵌入式靶标JJF1318-2011影像测量仪校准规范
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AUBAT-ZT302-1
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嵌入式靶标
JJF1318-2011影像测量仪校准规范专用计量器具
货号：AUBAT-ZT302-1
光学玻璃 φ8mm（2块）
材料：光学玻璃
1.底⾯平⾯度≦0.005 mm
2.刻线宽度≦0.005 mm
圆形靶标
货号：AUBAT-UG30
四靶位 圆度＜0.5μm
材料：光学玻璃
底面平面度 ≦0.005 mm 刻线宽度 ≦0.005 mm
1.探测误差(P2D)：标称直径(20~50)mm,圆度不超过¼MPEP2D的圆形靶标；
2.影像测头探测误差(PV)：标称直径(0.1~1)mm,圆度0.5μm；
3.变倍探测误差(PZ)：圆度0.5μm 且标称直径在视场范围内。
专用台阶规
货号：AUBAT-ZT302
材料：航空铝
1.总长度,不小于仪器工作行程对角线的 4/5；
2.两台阶高度差,不小于 Z 方向行程的 1/2；
3.宽度,不小于 50 mm；
4.底面平面度≦0.01 mm(凹形)；
5.凹槽处台阶面平面度 ≦0.005 mm；
6.各截面测量结果一致性（EC)；
7.垂直尺寸测量误差(EZ)；
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