高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级

商品名称:高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级
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产品参数

高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级水平回转工作台

（电动气浮转台）技术参数
规格	AUBAT-ZTA200
台面直径	200mm
轴向跳动（μm）	＜0.1μm
径向跳动（μm）	＜0.1μm
承重（kg）	＞500N
分辨力	优于1′
重复定位精度	优于±2′
供气压力	0.4~0.6MPa
驱动方式	进口直驱电机
工作台面	可根据用户需求预留安装孔位
配件
压缩空气（气泵））	选配
油水分离器	进口品牌（CKD）气源过滤系统
可根据客户的需求提供设计方案，也可直接按其方案加工制造.

产品特点

• 高精度的气浮转台

AUBAT-ZTA200采用了高精度空气静压转台技术，可获得高精度的转台回转精度，径向误差运动值<100nm,轴向误差运动值<100nm。

• 高重复定位精度

AUBAT-ZTA200转台基于高分辨高分率圆光栅作为反馈元件，高回转精度气浮技术、以及优异的控制算法，可实现优于±2 ′的回转定位精度，优于±1′的重复回转精度。

• 高性能电控系统

AUBAT-ZTA200转台使用了高性能力矩电机，采用直接驱动方式，取消了传动机构，极大的提高了传动效率；通过优化的控制算法，可达到 0.2arcsec 左右的控制跟随误差；

奥本精密工业AUBAT完全自主的设计，自有的超精密加工技术，以及完全可控的生产装配能力、可实现特殊规格的订制服务。

应用领域

1)精密计量：圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2)空间模拟装置，陀螺模拟实验
3)三坐标仪，齿轮测量仪等
4)低速伺服转台
5)精密仪器轴承：圆度仪、摩擦力矩仪等
6)光学测试