非接触式粗糙度轮廓仪
货号：AUBAT-FJC系列
非接触式表面轮廓测量仪
非接触式粗糙度轮廓仪可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行*高精度的非接触式三维轮廓测量。广泛应用于产品几何尺寸及表面形貌的测量，如产品镀层表面形貌，硅片表面形貌测量，手机中控及精密配件、光学镜片、汽车零部件等领域。
测量功能
1. 尺寸，包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
2. 夹角，包含水平角、垂直角、夹角
3. 辅助生成，包含辅助点、辅助线、辅助圆
粗糙度分析
Ra, Rq, Rz (Ry)， Rz (DIN)， R3Z, RZ(jis) ， Rp, Rv, Rt, Rsk, Rsm, Rc ， Rpm,Rku， Rdq， Roc， Mr1，Mr2, Rpk, RVk, Rk,Rdc， A1，A2，R, Rx, AR， Rcp, Rmax,RZ-SO
波纹度分析
wt,wa, wp，w,wq, wc, wku, wsk,w，wx，wz, wsm,wdc, wte wmr, Aw,c (wmr) wmr (c) , wdq
技术参数：
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项目
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参数
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光源
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白色LED
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光斑直径
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2μm
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测量范围
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Y轴
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±20mm
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X轴
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100mm
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轮廓Z轴
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测量范围:4mm
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工作距离:21.1mm
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粗糙度Z轴
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测量范围:0.4mm
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工作距离:10.4mm
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*大测量高度
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200mm
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测量角度范围
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≤25°
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测量精度
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X轴精度
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±(1+0.002L)um
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4mm量程传感器
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线性度
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≤0.05%
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重复性
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≤0.5%
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0.4mm量程传感器
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线性度
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≤0.045%
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重复性
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≤3%
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轮廓传感器分辨率
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7.5nm
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粗糙度传感器分辨率
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1nm
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评定长度
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入cx3、4、5、6、7
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X轴
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直线度
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0.6μm/100mm
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测量速度
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o.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s
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xY
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承载
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20Kg
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