JJF1831-2020球径仪校准规范
货号AUBAT-1831Q
1.标准凸(凹) 球面样板
2.平面平晶
3.三等量块
4.专用环
接触式球径仪是一种用于测量球面曲率半径的计量仪器，主要用于测量球面光学对板、光学样板、球面透镜、球面反射镜等的球面曲率半径。球径仪主要由测量环和矢高测量机构组成，通过测量球面的矢高而间接测量出球面的曲率半径。
测量标准及配套设备
1标准凸(凹) 球面样板
标准凸 (凹) 球面样板技术指标见表 。
|
标准球面样板标称半径 R/mm
|
技术指示
|
|
标准凸球面样板的圆度
|
半径光圈数 (r/2)
|
光圈局部误差 (r/2)
|
|
5~85
|
≦0.3μm
|
≦0.5
|
≦0.1
|
|
86~130
|
≦2μm
|
|
注: 标准凸球面样板标称半径(5~130) mm 范围内应按全球或超半球型式制造。样板均应凸凹成对制造与校准:半径光圈数、光圈局部误差分别为凸凹样板相合时所产生的干涉圈数 (或干涉条纹数) 及其不规则程度。
|
2 平面平晶
平面平晶与标准球面样板的质量差不应超过 100 g。
3 三等量块
用于校准矢高测量机构的示值误差。该组量块包含以下标称长度 (单位: mm):2，5，10，20，30.
4 专用环
校准球径仪的矢高测量机构的示值误差时，专用环是安放平晶的辅助工具，其工作面与定位面的平行度不超过 5μm，高度为 30 mm (负公差)。
校准方法：
1球面曲率半径测量的相对误差
在校准球径仪的球面曲率半径测量的相对误差时，对刃型测量环内径、外径分别用标准凸球面样板、标准凹球面样板作为测量标准;对钢球型测量环，用凸凹成对的标准球面样板组作为测量标准。
2矢高测量机构的示值误差
取下测量环，将专用环安装在仪器上，放上平面平晶，移动测量轴使测头与晶工作面相接触。通过矢高测量机构读数，重复测量 3 次取其平均值作为起始点“ao测得值。然后，依次将标称长度为 (单位:mm) 2，5，10，20，30 的量块分别与平研合后放到仪器上，适当恒温后，依次通过矢高测量机构读数，重复测量 3 次取其平值作为各点的测得值 ai。
