JJF1916-2021扫描电子显微镜校准规范
货号：AUBAT-1916S
1. 等间距栅格标准样板
2. 一维栅格
测长示值误差
3. 二维栅格
正交畸变，线性失真度
扫描电子显微镜 (简称“电镜”) 利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描，电子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号，由此获得表面形貌图像，可以达到纳米级的分辨力。
校准条件
1 环境条件 环境温度:(20士5)C;相对湿度:不超过 65%。使用的标准样板应与被测仪器放在一起等温不少于 0.5 h。实验室电磁辐射应不影响测量结果。
2校准用标准器 扫描电镜校准项目所采用的标准样板为等间距栅格标准样板，包含 5 个以上周期根据所校准的放大倍数，选取相应的标准样板，如表所示。
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计量特性
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标准样板
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放大倍数
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*大允许误差
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测长示值误差
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50 nm~200 nm一维谢格
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100 k~1 000 k
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士3%
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200 nm~400 nm一维栅格
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20 k~100 k
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士3%
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400 nm~300nm一维栅格
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10 k~20 k
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士1%
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1um~2μm一维栅格
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3 k~10 k
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士1%
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正交畸变，线性失真度
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10 μm 二维栅格
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500~2 k
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士1%
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10 μm 二维栅格
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500~2 k
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士1%
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校准方法：
1 测长示值误差
调整样品台，旋转标准样板使栅格的线条沿着竖直方向，栅格间距的测量方向沿着图像的 X 轴。记录扫描图像以及对应的放大倍数对图像上 X 方向的栅格间距进行测量。连续测量 3 次，取平均值。对于放大倍数在 20 万倍以上的测长示值误差校准，L 可以只包含一个间距。使线条沿着图像Y 轴、按照 X 方向栅格间距的测量方法来测量Y 方向的栅格间距。测量值与标准样板实际值的差为测长示值误差。
2 正交畸变
二维栅格样板进行测量，将二维栅格标准样板的图像中水平线条调整为沿着 X 方向。如图 3 所示，选取 X、Y 方向 5 个间隔周期以上测量长度，用扫描电子显微镜的图像测量软件测量栅格图像上横向与纵向栅格方向的夹角，与标准样板实际校准值的差即为校准结果。
3 线性失真度
在放大倍数 1 000 倍，测量二维栅格样板，选取一个栅格，分别平移到图像的中心和四角，各获取一幅图像。测量5个位置上栅格的 X、Y 方向的宽度按公式计算。
